洁净室工程设计

2020-10-13

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洁净室工程是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。它是污染控制的基础，控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。由于集成电路芯片、太阳能光伏芯片等在生产时对环境要求非常高，通常需要在无尘的环境下，且控制周围空气的洁净度及温湿度，才能生产出合格的产品，因此，为了使现有的生产线达到净化要求，通常要先施工建造一个无尘室。

洁净室工程的温湿度是由组合式净化空调器控制和调节的。然而，随着科技日新月异的发展，尤其是集成电路生产技术的发展，集成电路芯片生产的线宽由0 .45微米发展到0 .11微米，甚至由微米级向纳米级发展，环境温度的细微变化即可能影响生产工艺。通过进风管向无尘车间内部通入过滤净化后的新风，同时通过排风管将无尘车间内部的空气排出；将液态的环氧树脂倾倒于无尘车间的地面，待环氧树脂凝固后，使得无尘车间的地面形成水平的环氧树脂涂层地板。提升了无尘室内部的温度均匀性，实现了无尘车间的有效保温。在密封空间的顶部设置吊顶，并将进风罩固定于上述吊顶上，然后安装进风管、排风管和空调机组。

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