硅晶片洁净室工程的解决方案

2020-12-09

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从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序：单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA热处理-背面损伤处理-抛光（ML粗抛、ML精抛）-洗净-品质检查-洁净包装从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。

洁净室工程空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点，切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求，设风冷热泵分体柜式空调机（PAC）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用双层百叶风口侧送风方式；室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大，新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm 粒子），同样屋顶式空调机需设两级过滤器。

在接入每个风量及正压控制循环机组（AHU）的新风管上均设置电动调节阀，由各洁净室的正压值来调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而变化，电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化，根据其设定值调节AHU-1、2的风机频率，以达到控制目的。

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