洁净室工程验收管理要点

2022-11-29

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在洁净室工程设备的移入和安装阶段，对洁净工厂清洁区域的使用和管理也有更高的要求。建议建设单位应由专业部门专人管理，定期进行功能检测，对初效过滤器及时清洗，中高效过滤器及时更换，空调水系统过滤器定期清洗，在洁净工程生产间歇期间应对精华空调系统进行检修，重点是对各种电动执行机构动作情况进行测试，温湿度、压差传感器的敏感度测试，确保运行安全和运行效率。

洁净室工程气流组织和自净：洁净工程中，没有因各种气流方式而造成污染的风险。例如，应采取适当措施以确保气流不会将操作，设备和操作员散发的颗粒吹到清洁度要求高的区域。生产操作全部结束，操作人员撤离后现场并经15～20min（指导值）自净后，洁净区达到“静态”标准。各种参数的检测，需要由专业的机电工程调试检测（TAB）技术服务公司进行，该TFT-LCD洁净工程在过程建造中严格执行了洁净工程管理重点，完工后经检测达到了设计性能要求，实现了该项目的提前量产和盈利，电子产品良品率达到98％以上。

洁净室工程压差：清洁区与非清洁区之间以及不同水平的清洁区之间的压力差不小于10Pa，相同洁净度等级不同功能的操作间之间保持适当的压差梯度，以防止污染和交叉污染。

洁净室工程洁净度：各种电子产品的空气洁净度等级是根据产品生产工艺要求确定的。

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